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ALD/CVD

ADEKA ORCERA系列

应用于半导体前端工程的层间绝缘膜材料及各类掺杂剂。

特点

产品 化学式 用途 元素 纯度 外观 沸点
ADEKA ORCERA TDMAH HfO2 高诱电体 Hf 99.9999%(6N) Solid 197 °C
ADEKA ORCERA TEMAZ ZrO2 高诱电体 Zr 99.9999%(6N) Liquid 200℃
ADEKA ORCERA TDMAS SiO2/SiN 绝缘膜 Si 99.9999%(6N) Liquid 145 - 148 °C



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